2001年，中科院院士、北京大学微电子研究院院长王阳元开展了一场关于“微电子科学技术和集成电路产业”的报告，该报告重点分析我国发展微电子和集成电路产业的必要性、紧迫性、措施和建议。 随后，制造芯片的光刻机设备成为了十五期间首要进行攻关的项目。次年，光刻机项目被列入国家863计划中，上海微电子装备集团也因此正式成立。
上微公司的总经理贺荣明先生，主动带队去欧美地区展开合作。但是当贺荣明先生对国外企业表示中国人也要做光刻机的时候，外国专家满眼不屑的对贺荣明先生说到：“就是给你们全套图纸，你们也做不出来。” 从当年给图纸也造不出来，到现在ASML等欧洲企业主动要求美国政府放松出口管制，通过出口特定的设备来压制中国自主设备的发展，这其中表现出来的是欧美企业对中国科技发展所产生的焦虑感。 降价售卖
上海微电子在封装光刻机领域占据国内80%的市场空间，在制造LED/MEMS/功率器件所用的光刻机中，上海微电子的国产光刻机已经在性能指标上面达到了领先水平，其LED光刻机市场占有率第一。 尽管国产光刻机已经从当年“给图纸也造不出”，发展成如今在部分环节实现国产化替代，但是光刻机分为前道设备以及后道设备。前道设备主要用于芯片制造的曝光，而后道设备用于芯片的成品封装步骤。
从技术水平和产业链上面来看，前道光刻机的重要性和技术难度远大于后道光刻机。 上海微电子已经完成了90nm前道光刻机的制造，但是荷兰ASML、日本的尼康、佳能等企业均在前道光刻机领域摸爬滚打了几十年，并且ASML已经成为了全球前道光刻机的龙头老大。 只是依靠制造销售光刻机这个单一业务，ASML稳坐全球晶圆设备制造商全球第一的位置，甚至其创造的经济利益要比一众美国的大型装备集团还要高。
由此可见，要实现国产先进芯片的自主可控，先进技术的前道光刻机是必须要面对的问题。 据《瞭望智库》此前发布的报道指出，每当中国企业宣布在光刻机领域有所进展的情况下，荷兰ASML就立即降价甩卖同代和上代的光刻机产品，提前一步抢占中国市场，挤压中国本土设备的市场空间。 。
