从制造芯片所需要的三大核心设备刻蚀机(已商业量产)、薄膜机(已商业量产)、光刻机(DUV光刻机小规模试产、EUV光刻机研发出原型机),到光刻胶、特殊气体等一系列环节,国内基本都有生产了,已经初步建立了基本完整的芯片产业链

从制造芯片所需要的三大核心设备刻蚀机(已商业量产)、薄膜机(已商业量产)、光刻机(DUV光刻机小规模试产、EUV光刻机研发出原型机),到光刻胶、特殊气体等一系列环节,国内基本都有生产了,已经初步建立了基本完整的芯片产业链

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