荷兰ASML于2024年1月起执行新版EUV出口管制，却未料中国上海微电子同步宣

科技那些新鲜事 2026-01-30 18:13:27

荷兰ASML于2024年1月起执行新版EUV出口管制，却未料中国上海微电子同步宣布28nm DUV光刻机量产交付。

该设备采用国产双工件台+自研浸没系统，套刻精度达1.5nm（SEMI标准），已通过中芯国际12英寸产线验证。

美国商务部原计划借“有限豁免”诱导中国企业囤货旧款NXT:2000i，实则暗设“使用场景白名单”——禁止用于先进逻辑芯片制造

而我国通过“整机-光源-物镜”全链攻关，仅用18个月即实现28nm工艺节点自主可控！

ASML财报显示其对华DUV出货量同比下滑47%，反观国产设备订单超200台。

这场技术围堵，最终成了中国光刻装备产业的“压力测试成绩单”！

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