“光刻机没有一个国家可以做得到，美国都造不出，中国根本做不到！”“中国永远都造不出光刻机？”去年，中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言：“美国都造不出，中国永远也造不出来！”甚至认为世界上没有一个国家能造出光刻机。 一位物理学教授直言，高端光刻装备连强国都难独立完成，这话听起来刺耳，却道出技术现实：中国能永远停在门外，还是正蓄力破局？ 在中国科学技术大学资深物理学家朱士尧教授的一段视频采访中，他对半导体核心装备的制造难度给出明确判断。这段视频流传于网络平台，教授观点迅速引发关注和讨论。 教授指出，这种精密装备涉及光学系统、光源等多项顶尖技术，这些环节分散在不同国家。美国企业掌控光源部分，德国企业擅长光学组件，荷兰企业则通过长期积累，将分散技术整合成完整体系。没有哪个国家能单独完成全部生产。 这种整合依赖全球供应链，设计图纸只能提供部件信息，却无法传递数万零件在极短时间内协调运转的实际经验。这种经验靠工程师长期积累而来。 国内在国家规划支持下，组织多家单位集中攻关关键技术。在深紫外浸没领域，上海微电子已推出支持28纳米工艺的设备，这为中端芯片制造提供支撑。 极紫外领域，研究机构积极探索。哈尔滨工业大学团队在光源技术上取得进展，采用不同路径生成13.5纳米波长光源。上海光学精密机械研究所等单位在光源转换效率上实现突破，相关成果发表在专业期刊。这些努力表明，差距虽存在，但通过举国体制，基础学科短板正在逐步弥补。 不过装备集成需要长时间验证，国外企业从上世纪末起步，用二十多年达到商用。国内起步较晚，却加快步伐，每项试验都汇集多方资源。作为精密工业产品，光刻装备没有绝对不可逾越的障碍，关键在于持续投入基础研究和人才培养。
