光刻机产业链，最核心的20家上市公司：
一、整机与核心生态
1、张江高科（600895.SH）
唯一国产整机载体：上海微电子第一大股东，主导光刻机产业链生态整合。
二、光学系统
2、奥普光电（002338.SZ）
光学国家队平台：长春光机所技术转化主体，承担光刻机曝光光学系统研发。
3、茂莱光学（688502.SH）
精密光学镜头核心：覆盖DUV/EUV光学模组，服务全球半导体设备巨头。
4、福晶科技（002222.SZ）
激光晶体全球龙头：光刻机光源核心材料（LBO/BBO晶体）唯一国产供应商。
三、光源系统
5、波长光电（301421.SZ）
激光光学专精企业：光刻机准分子激光器光学元件主力供应商。
6、永新光学（603297.SH）
高端显微技术延伸：光刻机对准检测模块光学部件独家国产化。
四、关键子系统
（1）物镜与控制系统
7、赛微电子（300456.SZ）
物镜技术突破：MEMS镜片打入ASML供应链，国产光刻镜头核心。
8、电科数字（600850.SH）
运动控制国家队：光刻机精密位移控制系统解决方案商。
（2）洁净设备
9、蓝英装备（300293.SZ）
清洗设备绝对龙头：光刻机晶圆清洗设备国产替代唯一标的。
10、美埃科技（688376.SH）
洁净室标准制定者：中芯/长江存储光刻环节洁净系统主供应商。
11、安达智能（688125.SH）
涂胶显影设备延伸：半导体前道智能装备覆盖光刻工艺。
（3）光学器件与结构件
12、富创精密（688409.SH）
ASML认证结构件：光刻机反应腔精密金属件全球供应商。
13、新莱应材（300260.SZ）
超高纯气体传输系统：解决光刻机气路污染卡脖子问题。
14、华亚智能（003043.SZ）
精密金属结构件：半导体设备框架核心制造商，客户含AMAT。
（4）温控系统
15、飞股份（300990.SZ）
热管理技术专家：光刻机激光器温控设备唯一国产供应商。
五、材料与工艺
16、矩光科技（688167.SH）
光刻胶国产核心：国内唯一量产ArF光刻胶企业，配套28nm制程。
17、苏大维格（300331.SZ）
纳米压印光刻技术：突破性布局芯片级光刻掩模版。
六、设备协同与延伸
18、赢合科技（300457.SZ）
涂胶显影设备：通过斯科尔半导体切入光刻前道关键工艺。
19、晶方科技（603005.SH）
先进封装协同：晶圆级封装技术与光刻机下游应用深度绑定。
20、腾景科技（688195.SH）
光学元件双赛道：光通信滤光片技术迁移至光刻机光学链。
