“中国造出了比‘光刻机’还要贵的大国重器！10亿一台！比光刻机还金贵的OLED蒸镀机，中国终于自己造出来了。合肥欣奕华集团2019年打破日本20年垄断，精度干到1.5微米，直接碾压日本货。 OLED蒸镀机负责基板上有机材料沉积，需要真空环境，温度控在0.1度内，气压稳定。日本Canon Tokki垄断技术，每年产几台，售价1.4亿美元，约人民币10亿。购买需预约，价格无议价。中国面板厂靠进口，成本高，产能限。 2015年合肥欣奕华组队，超30人，从原理起步。无图纸，他们用软件建模，算蒸发速率。租3万平洁净车间，尘埃每立方米千粒以下。初期蒸发源温波动大，膜厚误差超10微米。他们换元件百次，优化分子路径。 另一组管高精密对位，用激光校准，从10微米降到2微米下。设计算法，抵振动干扰，测电机几十种。真空腔密封难，试材料组合，避泄漏。买扫描电子显微镜，查膜层质量。资金超亿，购精密部件。2016年原型跑，但偏差大，拆装记千组数据，轮班调数月。 日本考察时，专家称中国需几十年赶超，这推他们加速。回国增蒸发源，从几到数十，同步控。膜厚均匀1%内，精度1.5微米，优日本5微米。基板200毫米乘200毫米，高分辨支持。2017年G1验证，出货。2019年高端量产，对位用自主算法，蒸镀稳定超98%。成果来上千迭代，克真空控、材料均匀、精密定位十多技术，如点型线型蒸发源设计。国产降成本20%，周期短，推产业自主。 合肥欣奕华OLED蒸镀机用三大平台：真空镀膜、洁净移载、高精密控。蒸发源是核心，加热有机材料成气态，需均匀喷射。团队从点型源起步，控分子流向，避不均。线型源后加，适大基板。真空腔体设计防污染，密封达10^-7帕级。 气压波动小，泵组优化。高精密对位借航天视觉，动态校正，精度1.5微米。膜厚监测实时，用传感器反馈调参数。设备整机测试千次，模拟产线场景。2019年后，交付多家厂，良率超90%。比日本Tokki，国产响应快，维护本地。 技术壁垒破，助中国OLED份额超50%。光伏领域复用，钙钛矿蒸镀设备出，基板1200乘2400毫米。集成电路AMHS系统也破日韩垄断，洁净运晶圆。Mini LED巨量转移设备验证通过，转速高，精度亚微米。整体看，蒸镀技术从追赶到超，靠积累和跨界。
